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스퍼터용 쉴드 및 그 제조 방법
발급일 : 2022.01.04 발급기관 : 특허청 -
내플라즈마 유리 및 그 제조방법
발급일 : 2021.10.12 발급기관 : 특허청 -
피막 형성용 분말 공급 장치
발급일 : 2020.09.11 발급기관 : 특허청 -
가이드 노즐을 갖는 피막 형성 장치
발급일 : 2020.08.26 발급기관 : 특허청 -
플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막의 형성 방법 및 이에 따른 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막
발급일 : 2020.04.24 발급기관 : 특허청 -
투명 불소계 박막의 형성 방법 및 이에 따른 투명 불소계 박막
발급일 : 2020.02.26 발급기관 : 특허청 -
플로라이드화 옥사이드 박막의 형성 방법 및 이에 따른 플로라이드화 옥사이드 박막
발급일 : 2019.12.27 발급기관 : 특허청 -
반도체 공정 장비 부품의 코팅층 재생 방법 및 이에 따른 반도체 공정 장비 부품
발급일 : 2018.11.02 발급기관 : 특허청 -
복합 피막 입자 입경을 갖는 피막의 형성 방법 및 이에 따른 피막
발급일 : 2014.12.19 발급기관 : 특허청 -
플라즈마 저항성이 향상된 세라믹 피박의 형성 방법 및 이에 따른 세라믹 피막
발급일 : 2014.12.19 발급기관 : 특허청
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KOSHA-MS (안성2)
발급일 : 2025.03.17 발급기관 : 한국산업안전보건공단 -
ISO 27001 : 2022
발급일 : 2024.11.29 발급기관 : KSR -
AS9100D
발급일 : 2014.06.02 발급기관 : LRQA -
ISO 9001 : 2015
발급일 : 2025.01.21 발급기관 : KSR -
ISO 14001 : 2015
발급일 : 2025.08.20 발급기관 : KFQ -
ISO 22301 : 2019
발급일 : 2022.03.04 발급기관 : KSR -
ISO 45001 : 2018 (발안)
발급일 : 2024.11.28 발급기관 : kiwa -
ISO 45001 : 2018 (안성)
발급일 : 2016.10.12 발급기관 : kiwa
